عرضه دستگاه تبخیر حرارتی برای ساخت لایه‌های نازک از فلزات

شرکت پوشش‌های نانوساختار، دستگاه تبخیر حرارتی تولید و به بازار عرضه می‌کند که برای ساخت لایه‌های نازک از فلزات و دی‌الکتریک‌ها مناسب است. از این دستگاه برای حوزه‌های نانو و میکروالکترونیک می‌توان استفاده کرد و در بخش سلول‌های خورشیدی، حسگرهای لایه نازک و لایه‌های نوری و اپتیکی نیز قابل استفاده است.

به گزارش ایسنا، این دستگاه تبخیر حرارتی در خلاء با ابعاد بسیار مناسب در مدل رومیزی قادر است در طی کمتر از ۱۰ دقیقه  به فشار مورد نظر رسیده و عملیات لایه‌نشانی را از سه بوته یا بسکت مختلف شروع کند و اقدام به ساخت انواع لایه‌های مختلف نماید. این ابزار، قابلیت لایه‌نشانی از سه منبع تبخیر به‌صورت همزمان را داشته و همچنین امکان ایجاد لایه‌های آلیاژی را دارد. DTT با دارا بودن امکان انتخاب منبع تبخیر (بوته – بسکت) مورد نظر در حین لایه‌نشانی، دارای قابلیت ساخت چندلایه‌ای است.

این دستگاه مجهز به یک نمایشگر لمسی ۷ اینچی تمام رنگی بوده که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به کاربری ساده نرم‌افزار سیستم، کاربر می‌تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه‌نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به‌صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه‌نشانی آخر را دارا است.

به نقل از ستاد ویژه توسعه نانو، این دستگاه لایه‌نشانی در خلاء به روش تبخیر حرارتی مدل DTT دارای قابلیت نصب سه منبع تبخیر حرارتی مقاومتی مستقل با بازه طولی ۵ تا ۹ سانتی‌متر است. این منابع به‌صورتی طراحی شده‌اند که یکدیگر را آلوده نمی‌کنند.

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی این دستگاه لایه نشانی عبارتند از :

منبع تغذیه جریان بالا

منابع تبخیر حرارتی (بوته، بسکت، سیم پیچ)

مواد تبخیر شونده

هیتر ۵۰۰ درجه زیرلایه

حسگر کریستال کوارتز

MFC برای کنترل دقیق گاز ورودی به محفظه

شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک‌های آب‌بندی دور شیشه

از جمله مشخصات دستگاه می‌توان به قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه‌نشانی، مجهز بودن به فیدتروهای الکتریکی جریان بالای آب‌گرد، منبع تغذیه جریان بالا، داشتن پورت USB برای انتقال اطلاعات، اشاره کرد.